离子镀的工作原理，真空室要通过真空系统抽到10——4pa以下压强后，通过充气系统向真空室通入氩气，使真空室内的压强达到10——1——1pa。这时在基片（被镀不锈钢板）相对蒸发源加上负高压，在基片与蒸发源间由于气体在压下的放电便形成等离子区。因为带有负高压的基片被等离子体包围，不断受到正离子的轰击，这样就会清楚基片表面上的气体和污物，起到清洁基片的作用。与此同时膜材（镀氮化钛时为金属钛）蒸汽离子由于受到等离子体中正离子和电子的碰撞，其中一部分被电离成正离子，正离子在负高压电场作用下被吸附到基片上成膜。此时基片为阴极，蒸发源为阳极、两极间要加几千伏的直流电压。在膜材原子沉积的同时，还有正离子（气体或膜材）对基片的溅射作用，所以只有沉积作用大于溅射剥离作用时才能产生薄膜。钛金板镀膜除惰性气体外，还要充人氮气作为反应气体。